随着芯片制造及封装过程中越来越多地使用轻元素材料，对设备应用场景要求更加多样化。更高分辨率、更高对比度、更大检测范围的X射线检测装备已成为行业急需。

（网络配图）

近日，中国电科38所发布自主研制的新一代无损检测设备——“超级针”X射线成像系统，这是全国首台“超级针”X射线成像系统。该系统拥有“火眼金睛”般的缺陷检测能力，成像分辨率小于1微米，相当于发丝的1%，可应用于集成电路、军工航天、汽车电子、医疗诊断、文物保护等多个领域。

微焦点X射线成像系统是工业无损检测的常规必备设备，广泛应用于集成电路、电子器件等各种器材的无损检测。中国电科38所“超级针”X射线成像系统采用独特的“超级针”X射线源专利技术，可在图像增强器上形成被扫描物体的透视图像。该设备采用全国首创的“超级针”X射线源，因而以“超级针”冠名，具有成像清晰、性能稳定、洁净度高、超低辐射、低能成像等优点，在硅、铝、铜、陶瓷等轻元素材料的精密检测方面优势明显，已申请国内外发明专利30余项。

来源：人民日报